SEM-EDX

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● FE-SEM (EDX)
(電界放射型走査型電子顕微鏡&エネルギー分散型X線分析装置)

【仕様】	電界放射型走査型電子顕微鏡
	機種		:	日本電子　JSM-6500F
	加速電圧		:	3-30 kV
	分解能		:	実効10nm程度
	電子銃		:	熱陰極電界放射型
	倍率		:	実効100,000倍程度

	エネルギー分散型X線分析装置
	測定元素		:	B (Z = 5) - U (Z = 92)@定性
	分解能		:	144 eV以下
	検出限界		:	重元素 - 約0.2 %, 軽元素 - 数 %
	分析モード		:	点分析, 線分析, 面分析
	定量分析		:	スタンダード法あるいはスタンダードレス法 (EDS強度補正)


【主な用途】				試料表面に電子線を照射し，形態観察や組成分析を行う
【装置維持担当者】				宮崎